Plasmas complexes de silane pour le dépôt de couches minces : progrès et défis
Roca i Cabarrocas
Pere
Pere Roca i Cabarrocas, directeur de recherche au Laboratoire de Physique des Interfaces et des Couches Minces – LPICM (CNRS / Ecole Polytechnique) et directeur scientifique de l’IPVF