Plasmas complexes de silane pour le dépôt de couches minces : progrès et défis (Pere Roca i Cabarro…
ROCA I CABARROCAS Pere
Pere Roca i Cabarrocas, directeur de recherche au Laboratoire de Physique des Interfaces et des Couches Minces – LPICM (CNRS / Ecole Polytechnique) et directeur scientifique de l’IPVF